化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法

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タイトル別名
  • Fabrication of Micro-Lens Array using a Chemically Adsorbed Monomolecular Layer
  • カガク キュウチャク タンブンシ マク オ リヨウ シタ マイクロレンズ アレイ セイサクホウ
  • Fabrication of micro-lens array using a chemically absorbed monomolecular layer

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抄録

We proposed a new method of patterning a chemically adsorbed monomolecular layer on the substrate and then dropping UV cure material to form a lens shape using oil repellent effect of this film. The curvature radius of the lens was controlled by the amount of the dropped UV cure material. Using this method, a micro-lens array of various radiuses was fabricated. The formed micro-lens array shapes are transferred by the electro-plating and then the micro dies are fabricated, which are used for molding the plastic lens array. The optical characteristic of the molded micro-lens was evaluated.

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