書誌事項
- タイトル別名
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- Numerical Calculation and Experimental Verification of a Quartz-crystal-resonator-based Methanol Concentration Sensor
- スイショウ シンドウシシキ メタノール ノウド センサ ニ カンスル スウチ ケイサン ト ジッショウ
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抄録
In this paper, we report the numerical calculation and experimental verification of a quartz-crystal-resonator-based methanol concentration sensor for fuel cell applications. This sensor is composed of a quartz crystal resonator (QCR) and an interdigital capacitor (IDC). Our sensor can detect a very small capacitance change with a resolution of sub fF. The fabricated sensor can measure a methanol concentration with a resolution of 0.008 wt%. In the present study, we found out optimized sensor design (QCR and IDC) for the substrate thickness and the range of the methanol concentration. By the use of this study, the capacitive sensor with higher resolution can be realized, and it can be expected to apply to various types of capacitive sensors.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 134 (7), 224-228, 2014
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679437230848
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- NII論文ID
- 130004849030
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 025641468
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
