書誌事項
- タイトル別名
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- 8 Directions Detectable Octagonal nMOSFET Stress Sensor
- 1ツ ノ ソシ ノミ デ 8 ホウコウ ケンシュツ カノウ ナ 8カッケイ nMOSFETガタ オウリョク センサ
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説明
<p>In this paper, we design, fabricate, and evaluate Octagonal nMOSFET stress sensor for 8 direction stress detection. In previous works, stress detection device or devices, such as resistor and etc., have to be reattached along stress direction for measurement, because most of the stress sensors can detect only one dimension. However, this device is not necessary to reattach because this device has radial eight direction output terminals. As the results, we can realize that it is able to detect 8 dimensional stress directions.</p>
収録刊行物
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- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136 (9), 420-424, 2016
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679437351168
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- NII論文ID
- 130005262100
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 027650469
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可