MEMS超音波センサを用いた水中移動物体の速度計測

DOI Web Site Web Site 参考文献4件
  • 竹井 裕介
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 松井 亮
    東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
  • グェン ミン ジュン
    東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
  • 高畑 智之
    東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
  • 松本 潔
    東洋大学 理工学部 機械工学科
  • 下山 勲
    東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Velocity Measurement using MEMS Ultrasonic Sensor for Non-invasive Blood Pressure Measurement
  • MEMS チョウオンパ センサ オ モチイタ スイチュウ イドウブツタイ ノ ソクド ケイソク

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抄録

<p>We measured flow speed of a moving object in a water with Doppler effect using a MEMS ultrasonic receiver. This measurement is aimed for non-invasive blood pressure measurement. We proposed a wide frequency range receiver to measure both blood flow speed and vessel diameter at the same time in a blood vessel. Our sensor has a piezoresistive cantilever which is put on the boundary between air and liquid in a device. According to this structure, proposed receiver can measure acoustic waves from Hz to MHz order frequency, so that we can obtain blood flow speed (MHz order), and blood pressure change (Hz order) with the same device. On this paper, we measured flow speed ranging from 64.0 to 76.3 mm/s with 5.6 to 19% error.</p>

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