書誌事項
- タイトル別名
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- Improvement of Sensitivity of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films
- P(VDF/TrFE)ハクマク オ モチイタ MEMS チョウオンパ センサ ノ カンド カイゼン
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抄録
MEMS (microelectromechanical systems) ultrasonic sensors were fabricated using a polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene (P(VDF/TrFE)) copolymer thin film on multilayered diaphragm structures. We developed a new diaphragm structure to improve the sensitivity through lowering the stiffness of the vibration part of the sensor compared to the conventional ones. The new sensor structure improved the sensitivity up to about 5 times compared to conventional the ones. Fabricated sensors with the new structure showed their sensitivity, resonant frequency and Q-value as -74 dB (1V/Pa = 0 dB), 89.2 kHz and 24, respectively.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 136 (5), 134-141, 2016
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679439292928
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- NII論文ID
- 130005149052
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 027423666
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可