グラフェン導電層を用いた絶縁物のオージェ電子分光分析

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  • Auger Electron Spectroscopy of Insulators Using Graphene as Conductive Layers
  • グラフェン ドウデンソウ オ モチイタ ゼツエンブツ ノ オージェ デンシ ブンコウ ブンセキ

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抄録

オージェ電子分光分析（AES）は物質の数nmの最表面組成を判定できる反面，その測定対象は導電性を持つ材料に限定される．そのため，AESによる絶縁物観察のためには極薄の金属膜コートにより，試料表面に導電性を付与する等の前処理が必要となる．本報告では導電性付与のため，1原子層状物質であるグラフェンを測定対象上に保持することで，絶縁材料の微小領域におけるAES分析を実現した．

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