書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication Process of Self-Aligned Organic EL Devices with Side-Wall Structure
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抄録
側壁構造を有する自己整合有機EL素子の作製プロセスを検討した.本プロセスの要点は, 反応性イオンエッチングによる側壁形成にある.陰極を自己整合マスクとし, 素子周辺に絶縁物側壁を形成した.側壁形成後の素子では電圧3.5Vより発光が見られ, 電流密度100mA/cm^2で1000cd/m^2の輝度を得た, その後, ウェットプロセスおよびフォトリソグラフィ技術が適用できた.配線プロセス後の素子で, 同様に発光が確認できた.
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 22.4 (0), 49-54, 1998
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679501539200
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- NII論文ID
- 110003689996
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可