MOSFETのスケーリングとアナログ/RF特性 : 微細MOSはアナログ/RFにとって味方なのか(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)

書誌事項

タイトル別名
  • Analog / RF performance of scaled MOSFET : Is scaled MOSFET friend for analog / RF circuits?
  • 招待講演 MOSFETのスケーリングとアナログ/RF特性--微細MOSはアナログ/RFにとって味方なのか
  • ショウタイ コウエン MOSFET ノ スケーリング ト アナログ RF トクセイ ビサイ MOS ワ アナログ RF ニ トッテ ミカタ ナノカ

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抄録

MOSFETの微細化によってデジタル回路の高速化や高周波用回路を実現してきた。最近、特性向上のためにゲートの微細化だけでなく、ストレス印加による移動度向上、high-Kゲート絶縁膜によるゲートリークの抑制、メタルゲートによるゲート空乏化の改善も並行して検討されているが、これら新規技術がアナログ/RF特性に与える影響について御紹介する。

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参考文献 (24)*注記

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