書誌事項
- タイトル別名
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- 120x90 element Thermoelectric Infrared Focal Plane Array
- 120×90画素サーモパイル型赤外線センサアレイ
- 120 90 ガソ サーモパイルガタ セキガイセン センサ アレイ
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説明
初めてCMOS技術で120×90画素サーモパイル型赤外線FPAを作製した.本デバイスは,3900V/Wの高感度を実現し且低コスト化が可能である.チップサイズは,14.4mm × 11.0mm, イメージ領域が12.0mm × 9.0mmである.各センサの構造は,真空封止パッケージに最適化され,2対のサーモパイルとNMOSトランジスタからなり,100 × 100 μm の外寸,90kΩの内部抵抗を有する.微細にパターン化したAu-black赤外線吸収膜は低圧蒸着法とPSG犠牲層を用いたリフトオフ技術を用いて作製した.これらの技術は,Au-black膜をCMOSプロセスと同等の精度でパターニングできる事を可能にした.このAu-black膜は波長8-13μm領域において90%以上の高い吸収率を示した.本センサは,自動車応用及び民生品用途に有効な性能を実現した.
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 26.50 (0), 19-22, 2002
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679503979392
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- NII論文ID
- 110003671600
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 6295831
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
