水系薄膜技術による光学薄膜の形成 : ウェットプロセスによる低環境負荷ナノコーティング(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)

書誌事項

タイトル別名
  • Formation of optical thin film by Water Based Thin Film Process : Eco friendly nanocoating by wet process
  • 招待講演 水系薄膜技術による光学薄膜の形成 : ウェットプロセスによる低環境負荷ナノコーティング
  • ショウタイ コウエン スイケイ ハクマク ギジュツ ニ ヨル コウガク ハクマク ノ ケイセイ : ウェットプロセス ニ ヨル テイカンキョウ フカ ナノコーティング

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説明

真空プロセスを用いずに水系でしかも常温、常圧で製膜できるウェットプロセスとして交互吸着法、スプレー交互吸着法があり、近年研究が活発化している。なかでも、ディスプレイ、光学部材に適応される光学薄膜は、高真空を有するドライプロセスから、より簡易的なウェットプロセスによる光学薄膜が期待される。本研究では、交互吸着法により全水系プロセスで膜厚および屈折率をナノスケールオーダーで制御した光学薄膜を報告する。

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参考文献 (23)*注記

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