10GfPsを目指したアバランシェ増倍型超高速撮像素子のシミュレーション解析(高機能イメージセンシングとその応用)

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タイトル別名
  • A Simulation Study of 10 Gfps BSI Image Sensor with Avalanche Multiplication Effect
  • 10Gfpsを目指したアバランシェ増倍型超高速撮像素子のシミュレーション解析
  • 10Gfps オ メザシタ アバランシェ ゾウ バイガタ チョウコウソク サツゾウ ソシ ノ シミュレーション カイセキ

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抄録

アバランシェ増倍効果による信号電子の増倍を超高速撮像素子に応用することを目標に、裏面照射型CCDの電荷収集過程に関する数値解析を行った。シミュレーション方法としては、電子1つ1つの挙動を追跡することのできるモンテカルロ法を採用し、電荷収集層に設けた高電界部を通過する信号電子のアバランシェ増倍過程を詳細に調べた。その結果、発生した光電子が収集層に到達するまでの時間ばらつきと信号増倍率の間にはトレードオフ関係があることが分かった。

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