サブミリメータ分解能およびカラムスキュー補正機能を有するTime-of-Flight距離イメージセンサ(固体撮像技術および一般)

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タイトル別名
  • A 0.3mm-Resolution Time-of-Flight CMOS Range Imager with Column-Gating Clock-Skew Calibration
  • サブミリメータ分解能およびカラムスキュー補正機能を有するTime-of-Flight距離イメージセンサ
  • サブミリメータ ブンカイノウ オヨビ カラムスキュー ホセイ キノウ オ ユウスル Time-of-Flight キョリ イメージセンサ

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説明

本稿では,サブミリメータ分解能を実現したTOF距離イメージセンサについて報告する.短パルス光源を使用するインパルス駆動方式と高速な電流応答が得られる排出制御型電荷変調(Draining-Only Modulation: DOM)素子,カラムスキュー補正回路によって,全ての画素アレイで高距離分解能のイメージングを実現する.0.11μmCMOSイメージセンサプロセスで試作したイメージセンサにおいて,32mmの範囲を距離分解能0.3mm,すなわち時間分解能2psでの計測を実現した.取得した3次元画像では1mmの段差形状に成功している.

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