GaSb/InAs Type-II超格子赤外線センサの量子効率評価(第11回赤外放射の応用関連学会年会)

書誌事項

タイトル別名
  • Quantum Efficiency Analysis of GaSb/InAs Type-II Superlattice Infrared Detectors
  • GaSb/InAs Type-Ⅱ超格子赤外線センサの量子効率評価
  • GaSb/InAs Type-Ⅱ チョウコウシ セキガイセン センサ ノ リョウシ コウリツ ヒョウカ

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説明

われわれは、宇宙からの環境計測などに用いるカットオフ波長15μmの人工衛星搭載用GaSb/InAs Type-II超格子(T2SL)赤外線センサの開発を行っている。この開発の一環として、重要な性能指標である量子効率を光吸収測定と光電流測定の2種類の方法で評価した。今回評価したのは、6μmカットオフを持つよう設計した厚み300層の超格子と、この超格子を用いて作製したpinダイオードである。評価した結果、設計通りカットオフ波長が確認でき、波長4μmで25%程度の量子効率が得られた。

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