マイクロエレクトロニクスにおける有機材料　ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）　マイクロエレクトロニクス用絶縁材料

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390282679537617792

• NII論文ID

  130003706413

• DOI

  10.5104/jiep1993.12.4_20

• ISSN

  18841198

  09194398

• Web Site

  http://www.jstage.jst.go.jp/article/jiep1993/12/4/12_4_20/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles