薄膜の内部応力の推定法と発生原因

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タイトル別名
  • Experimental Method for Evaluation of In-ternal Stress in Thin Solid Films and Some View for Its Build-up Mechanism
  • ハクマク ノ ナイブ オウリョク ノ スイテイホウ ト ハッセイ ゲンイン

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説明

新素材の要にある薄膜の応力や, LSIなどの素子の微細化にともなって微小な膜の応力の知見が必要になっている,そこで,まず, 1960年代に確立した薄膜の応力評儀法について述べ,応力が膜の成長や構造変化にともなって発生する内部応力と熱応力とに区分されることを再確認したい.つぎに,引っ張り応九圧縮応力の発生が膜作成条件や作成法によっていることを示す.その特徴を, (1) 結晶などの粒子がのぴたり,収縮しようとしている, (2) 粒界の消滅に応じて下地をまげる応力が発生する,という見解を用いて検討し,膜・下地界面や結晶粒界などにおける応力の局所解析の必要性について触れたい.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 57 (12), 1856-1867, 1988

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (9)*注記

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