Electrodeposition of compound semiconductors

DOI Web Site 1 Citations 15 References
  • OHNO Izumi
    Department of Metallurgical Engineering, Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Technology

Bibliographic Information

Other Title
  • “めっき”で創る化合物半導体
  • メッキ デ ツクル カゴウブツ ハンドウタイ

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Abstract

化合物半導体(例えばCdTe, GaAsなど)の電着は最近の研究課題で,周期律表の2族と6族あるいは3族と5族に属する2種以上の元素の共析の問題であるほこの方法の問題点は,化学量論組成を持つ大きな結晶粒の析出を得ることである.本稿では,化合物半導体の共析を理解するための熱力学的基礎を述べるとともに,電着法による化合物半導体の実例を紹介する.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 64 (8), 798-802, 1995

    The Japan Society of Applied Physics

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