“めっき”で創る化合物半導体

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タイトル別名
  • Electrodeposition of compound semiconductors
  • メッキ デ ツクル カゴウブツ ハンドウタイ

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抄録

化合物半導体(例えばCdTe, GaAsなど)の電着は最近の研究課題で,周期律表の2族と6族あるいは3族と5族に属する2種以上の元素の共析の問題であるほこの方法の問題点は,化学量論組成を持つ大きな結晶粒の析出を得ることである.本稿では,化合物半導体の共析を理解するための熱力学的基礎を述べるとともに,電着法による化合物半導体の実例を紹介する.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 64 (8), 798-802, 1995

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (15)*注記

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