ZnSe/ZnSひずみ超格子成長と光導波路への応用

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タイトル別名
  • Growth of ZnSe/ZnS Strained-Layer Superlattices and Application for Optical Waveguides
  • ZnSe ZnS ヒズミ チョウコウシ セイチョウ ト ヒカリ ドウハロ エ

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抄録

われわれは,有機金属気相成長法によるZnSe/ZnSひずみ超格子成長技術の開発と,このZn/SeZnSひずみ超格子からなる,可視光領域で低損失な光導波路の開発を行ってきた.本稿では,GaAs基板およびSi基板上に良質なZnSe/ZnSひずみ超格子が得られたのでその評価結果と,さらに作製したZnSe/ZnSひずみ超格手光導波路の導波特性について紹介する.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 58 (9), 1351-1359, 1989

    公益社団法人 応用物理学会

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