書誌事項
- タイトル別名
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- Growth of ZnSe/ZnS Strained-Layer Superlattices and Application for Optical Waveguides
- ZnSe ZnS ヒズミ チョウコウシ セイチョウ ト ヒカリ ドウハロ エ
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抄録
われわれは,有機金属気相成長法によるZnSe/ZnSひずみ超格子成長技術の開発と,このZn/SeZnSひずみ超格子からなる,可視光領域で低損失な光導波路の開発を行ってきた.本稿では,GaAs基板およびSi基板上に良質なZnSe/ZnSひずみ超格子が得られたのでその評価結果と,さらに作製したZnSe/ZnSひずみ超格手光導波路の導波特性について紹介する.
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 58 (9), 1351-1359, 1989
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679572215808
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- NII論文ID
- 130003430579
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- COI
- 1:CAS:528:DyaL1MXmsVaksL0%3D
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- ISSN
- 21882290
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 3245131
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可