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- 柴崎 一郎
- 旭化成工業株式会社研究開発本部(富士)
書誌事項
- タイトル別名
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- Practical Hall elements by thin film technology
- カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク ホール ソシ ノ カイハツ
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抄録
高感度InSb薄膜ホール索子はVTRのテープ走行の制御や,フロッピーディスク, CD-ROMなどを駆動する小型精密制御のブラシレスモーターの童要な無接触磁気センサーとして市場が急速に伸びている.縮Sbに次いで高い電子移動度を有するInAs薄膜の製作にMBE法を応用した,きびしい環境下での駆動が可能な高感度,高性能のInAsホール素子が開発され実用化が始まった.さらにInAsの豊子井戸構造の高感度ホール素子の開発も進んでいる.いまや,ホール素子は化合物半導体の重要な応用分野となりつつある.
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 67 (3), 289-293, 1998
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679573406080
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- NII論文ID
- 10005093630
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- COI
- 1:CAS:528:DyaK1cXhslynsLc%3D
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- ISSN
- 21882290
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 4423235
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
