書誌事項
- タイトル別名
-
- Leading-Edge Technology in Light Application and Visual Science
- ヒカリ オウヨウ ・ シカク ギジュツ ノ サイゼンセン
この論文をさがす
説明
The technical committee on light application and visual science (TC-LAV) has been surveying fields of application of optical engineering and visual science, covering medical science, devices for visual information processing, light sources from terahertz wave to extreme ultraviolet, advanced lithography, and so on. This article introduces two topics from recent research activities. They are optical control of thick resist pattern profiles, and characteristics of random errors in intensity and phase measured with THz time-domain spectroscopy.
収録刊行物
-
- 電気学会論文誌． Ａ
-
電気学会論文誌． Ａ 132 (1), 17-20, 2012
一般社団法人 電気学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282679575331712
-
- NII論文ID
- 10030523604
-
- NII書誌ID
- AN10136312
-
- ISSN
- 13475533
- 03854205
-
- NDL書誌ID
- 023415845
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
