大気圧プラズマを用いた微量元素分析技術

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献128件
  • 重田 香織
    東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
  • 永田 洋一
    東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
  • 岩井 貴弘
    東京工業大学理工学研究科地球惑星科学専攻
  • 宮原 秀一
    東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
  • 沖野 晃俊
    東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Trace Elemental Analysis Technologies using Atmospheric Plasma Sources
  • タイキアツ プラズマ オ モチイタ ビリョウ ゲンソ ブンセキ ギジュツ

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説明

Trace elemental analysis technologies using atmospheric plasma sources have been used in many fields such as environmental analysis, semiconductor industry and medicine. Since 1970's, argon inductively coupled thermal plasma (ICP) has been used as ionization or excitation source for atomic emission spectrometry or mass spectrometry because of the excellent power of detection and the ability to measure isotope ratios. However, it is difficult to determine high ionization potential elements such as halogens and rare gases by using argon plasma. In order to overcome argon ICP, many types of atmospheric plasma sources have been developed and investigated. Furthermore, some kinds of sample introduction systems have been developed and applied with the plasma sources. As a result, sub-pg/mL of detection limits for almost all elements are realized.

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