書誌事項
- タイトル別名
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- Application of Capillary Discharge Technique for Deposition of Diamond-Like Carbon Thin Films (2<sup>nd</sup> Report)
- キャピラリー放電を用いたDiamond-Like Carbon薄膜の成膜技術の開発(第2報)キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響
- キャピラリー ホウデン オ モチイタ Diamond-Like Carbon ハクマク ノ セイマク ギジュツ ノ カイハツ(ダイ2ホウ)キャピラリー ホウデン ニ ヨル ジョウチャク エ ノ ホウデンカン ザイシツ ノ エイキョウ
- —Effect of Discharge Tube Material on Deposition using Capillary Discharge Method—
- —キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響—
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抄録
We have been studying the Pulsed Plasma Deposition (PPD) technique for applying diamond-like carbon film deposition. This technique is one of the applications of the capillary discharge, and the deposition process is based on an ablation. In this study, we have found that the discharge tube material affect the discharge condition and the optical emission spectrum of the plume. We have also succeeded to increase the discharge current using a earth attached to the capillary tube. This earth has been effective for stabilizing the discharge. It can be concluded that the electrical properties (dielectric constant and conductivity) and physical property (melting point) of the discharge tube affect the capillary discharge.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌． Ａ
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電気学会論文誌． Ａ 133 (5), 293-299, 2013
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679575775616
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- NII論文ID
- 10031166948
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- NII書誌ID
- AN10136312
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- ISSN
- 13475533
- 03854205
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- NDL書誌ID
- 024670103
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可