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- Tsuchida N.
- Faculty Engineering, Nagoya University
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- Ohkubo Osamu
- Faculty Engineering, Nagoya University
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- Ueda Minoru
- Faculty Engineering, Nagoya University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 極めて薄いSiO蒸着膜の絶縁破壊特性
- キワメテ ウスイ SiO ジョウチャク マク ノ ゼツエン ハカイ トクセイ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電気材料・部品--絶縁材料 ; 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
Journal
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- IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
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IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 97 (6), 309-316, 1977
The Institute of Electrical Engineers of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679576392448
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- NII Article ID
- 40002516256
- 130003570277
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- NII Book ID
- AN10136312
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- ISSN
- 13475533
- 03854205
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- NDL BIB ID
- 1831073
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles