固体錫ターゲットを用いたCO<SUB>2</SUB>レーザープラズマEUV光源のデブリ特性

DOI Web Site Web Site 被引用文献1件 参考文献25件
  • 植野 能史
    技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構平塚研究開発センター
  • スマン ゲオルグ
    技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構平塚研究開発センター
  • 住谷 明
    技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構平塚研究開発センター
  • 遠藤 彰
    技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構平塚研究開発センター

書誌事項

タイトル別名
  • Characteristics of Debris from a CO<SUB>2</SUB> Laser-Produced Plasma Using a Solid Tin Target for Development of Extreme Ultraviolet Source
  • 固体錫ターゲットを用いたCO2レーザープラズマEUV光源のデブリ特性
  • コタイ スズ ターゲット オ モチイタ CO2 レーザー プラズマ EUV コウゲン ノ デブリ トクセイ

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抄録

We have characterized CO2 laser generated debris from plane tin (Sn) targets with gold coated quartz crystal microbalances (QCM). Sputtering was the dominant process for 1mm and 15μm thick solid Sn targets. In addition, average conversion efficiency at 13.5nm of 2.0% within 2% full bandwidth and 2π sr solid angle was obtained. This indicates that a high CE without Sn debris deposition on a multi-layer collector mirror can be obtained.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 35 (7), 457-461, 2007

    一般社団法人 レーザー学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (25)*注記

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