極端紫外光発生用高繰り返し固体レーザー装置の開発

DOI Web Site Web Site 参考文献18件
  • 椿本 孝治
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
  • 吉田 英次
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
  • 藤田 尚徳
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
  • 中塚 正大
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Development of High-Peak and High-Average-Power LD Pumped Solid-State Laser System for EUV Generation
  • キョクタン シガイコウ ハッセイヨウ コウクリカエシ コタイ レーザー ソウチ ノ カイハツ

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抄録

We are developing a 5kW (5kHz, 1J, 1-10ns) solid state laser system for EUV lithography. The Laser system is constructed by the fiber oscillator, regenerative amplifier and three amplifier stages. The output power is achieved at 955W, 10kHz, 7ns. The main amplifier modules are pumped with high power density over 400 W/cm. The thermal lens effect is not sphere, and includes high order phase aberrations. The phase aberration disturbs the propagation of the laser light. In addition, the spectral shift of the fluorescence is caused by rising the temperature of the laser medium.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 34 (9), 628-632, 2006

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (18)*注記

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