静電リニアアクチュエータの解析と拡大モデルによる性能評価

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  • Analysis of an electrostatic linear actuator and performance measurement by its scale model.
  • セイデン リニア アクチュエータ ノ カイセキ ト カクダイ モデル ニ ヨル

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記事分類: 電気工学--電力工学--電力機器--発電機・電動機

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