Fabrication of Silicon Micro-Needles by Using Plasma Process.
Bibliographic Information
- Other Title
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- プラズマ応用の新しい展開―５ プラズマによる微細針状シリコンの形成
- プラズマ ニ ヨル ビサイ ハリジョウ シリコン ノ ケイセイ
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Journal
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- The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan
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The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan 123 (10), 656-659, 2003
The Institute of Electrical Engineers of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679638410496
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- NII Article ID
- 10011750030
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- NII Book ID
- AN10432927
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- ISSN
- 18814190
- 13405551
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- NDL BIB ID
- 6717972
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
