半導体製造用クリーンルームへの冷熱搬送系の省エネルギー

  • 坂内 正明
    株式会社日立製作所都市開発システムグループ都市開発ソリューション本部エネルギーソリューション第一部
  • 桑原 健一
    株式会社日立製作所都市開発システムグループ都市開発ソリューション本部エネルギーソリューション第一部
  • 板坂 久雄
    日立プラント建設株式会社西部技術グループ

書誌事項

タイトル別名
  • Energy-saving in Chilled-Water Supply System for Clean Room of Semiconductor Manufacturing Plant
  • 半導体製造用クリーンルームへの冷熱搬送系の省エネルギー--冷水可変量制御と抵抗低減剤の添加
  • ハンドウタイ セイゾウヨウ クリーンルーム エ ノ レイネツ ハンソウケイ ノ ショウエネルギー レイスイ カヘンリョウ セイギョ ト テイコウ テイゲンザイ ノ テンカ
  • -冷水可変量制御と抵抗低減剤の添加-
  • -Variable Flow Control of Chilled-water and Addition of Drag Reduction-

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抄録

A semiconductor-manufacturing plant operates for long hours throughout the year. Clean rooms require air-conditioning year-round. To reduce the chilled water pumping power, we implemented two techniques: 1) implementing the adjustable control of water flow based on heat load, and 2) adding a surfactant. It is well known that a drag reduction effect can be obtained by adding a drag reduction additive. The air-conditioning system performance was immediately lowered after a drag-reducing additive charge in a short period. We explained the mechanism of degraded heat transfer performance , devised a countermeasure to minimize the adverse effect caused by the problem, and successfully reduced the pumping power . The annual energy-saving amount reached 2.1 x 106 kWh, which is corresponding to reduction effect at 50.8% compared with the conventional system.

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参考文献 (8)*注記

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