マイクロ機構の測定・評価技術　微小運動システムのダイナミクス評価

DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献8件

書誌事項

タイトル別名
  • Measurement and Evaluation of Micromechanisms. Dynamics Evaluation of Micro-Motion Systems.
  • ビショウ ウンドウ システム ノ ダイナミクス ヒョウカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 63 (3), 317-322, 1997

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (8)*注記

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