マイクロ機構の測定・評価技術 マイクロ振動の測定・評価

書誌事項

タイトル別名
  • Measurement and Evaluation of Micromechanisms. Vibration Measurement and Analysis for Micro-mechanisms.
  • マイクロ シンドウ ノ ソクテイ ヒョウカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 63 (3), 332-336, 1997

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (15)*注記

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