光計測の新しい潮流　　実時間干渉じま解析との応用

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タイトル別名
  • New Tides in Optical Metrology. Real-time Fringe Analysis for Interferometry and Its Applications.
  • ジツジカン カンショウジマ カイセキ ト ソノ オウヨウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 64 (9), 1289-1293, 1998

    公益社団法人 精密工学会

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