メカニカルリソグラフィ  ナノプリント技術による微細構造の形成とバイオMEMSへの応用

書誌事項

タイトル別名
  • Formation of Fine Structures and Applications for Bio-MEMS by Nanoprint Technology
  • ナノプリント ギジュツ ニ ヨル ビサイ コウゾウ ノ ケイセイ ト バイオ MEMS エ ノ オウヨウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 70 (10), 1228-1231, 2004

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (16)*注記

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