超精密加工機およびその要素技術の今後について

書誌事項

タイトル別名
  • The future of Ultra precision machine tool and its element technology

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 75 (1), 126-127, 2009

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (3)*注記

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キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679772928384
  • NII論文ID
    110007028761
  • NII書誌ID
    AN1003250X
  • DOI
    10.2493/jjspe.75.126
  • ISSN
    1882675X
    09120289
  • データソース種別
    • JaLC
    • Crossref
    • CiNii Articles

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