マイクロ加工の最前線　　マイクロ加工の現状と展望

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書誌事項

タイトル別名
  • Overview of Micro Machining Processes for Functional Surfaces
  • テンボウ マイクロ カコウ ノ ゲンジョウ ト テンボウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 68 (2), 161-166, 2002

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (20)*注記

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