Cubic BN film formation by laser PVD.

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  • レーザＰＶＤ法によるｃＢＮ膜
  • レーザ PVDホウ ニ ヨル cBN マク

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CO2レーザを用いたレーザPVD法の特徴を紹介し,またNイオン同時照射により,化学量論比に近いcBN膜の作成が可能であることを示した.膜質および基材との密着性の向上を図り,コーティング工具として実用可能なcBN膜を作成することが当面の課題といえる.

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