TIA-N-MEMSの構築と今後の展開

DOI Web Site
  • 伊藤 寿浩
    産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センター
  • 前田 龍太郎
    産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センター
  • 浅野 由香
    経済産業省産業技術環境局研究開発課

書誌事項

タイトル別名
  • Present Status and Future Direction of TIA-N-MEMS
  • TIA N MEMS ノ コウチク ト コンゴ ノ テンカイ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 76 (5), 502-505, 2010

    公益社団法人 精密工学会

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