Technology for MEMS Commercialization : Current Status and Future Prospects
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- SAWADA Renshi
- 九州大学大学院工学研究院機械工学部門
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- HIGURASHI Eiji
- 東京大学先端科学技術研究センター
Bibliographic Information
- Other Title
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- MEMS商用化技術の現状と今後の展望
- MEMS ショウヒンカ ギジュツ ノ ゲンジョウ ト コンゴ ノ テンボウ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 76 (5), 491-497, 2010
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679773585408
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- NII Article ID
- 130000421812
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 10699328
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles