多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化

  • 北川 克一
    東レエンジニアリング (株) エレクトロニクス事業本部開発センター
  • 坪井 辰彦
    東レエンジニアリング (株) エレクトロニクス事業本部開発センター
  • 杉原 洋樹
    東レ (株) エンジニアリング開発センター
  • 杉山 将
    東京工業大学大学院情報理工学研究科
  • 小川 英光
    東京福祉大学教育学部教育学科

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry and Its Practical Application
  • タハチョウ ワンショット カンショウ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト ジツヨウカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 78 (2), 112-116, 2012

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (1)*注記

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