電歪素子利用による精密位置合わせ機構

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タイトル別名
  • Precise positioning by the use of PZT.
  • デンワイ ソシ リヨウ ニ ヨル セイミツ イチ アワセ キコウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 53 (5), 698-700, 1987

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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