固体アクチュエータ技術の現状と将来の動向

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タイトル別名
  • State and future trend of solid element actuator.
  • コタイ アクチュエータ ギジュツ ノ ゲンジョウ ト ショウライ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 53 (5), 683-685, 1987

    公益社団法人 精密工学会

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