プローブ顕微鏡を用いた微細加工・マニピュレーション

書誌事項

タイトル別名
  • Nanofabrication and Manipulation Using Scanning Probe Microscopes
  • はじめての精密工学 プローブ顕微鏡を用いた微細加工・マニピュレーション
  • ハジメテ ノ セイミツ コウガク プローブ ケンビキョウ オ モチイタ ビサイ カコウ ・ マニピュレーション

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 83 (2), 135-139, 2017

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (11)*注記

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