The State of the Art and Future Prospect of Ultrafast Laser Microprocessing
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- SUGIOKA Koji
- 理化学研究所
Bibliographic Information
- Other Title
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- 超短パルス微細加工技術の動向と展望
- チョウタンパルス ビサイ カコウ ギジュツ ノ ドウコウ ト テンボウ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 81 (8), 709-713, 2015
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679805579520
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- NII Article ID
- 130005091807
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 026675933
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles