レーザー励起テラヘルツ放射イメージングを利用したLSI故障解析

DOI Web Site Web Site 参考文献2件
  • 山下 将嗣
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツイメージング研究チーム
  • 大谷 知行
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツイメージング研究チーム
  • 松本 徹
    浜松ホトニクス (株) システム事業部第18部門
  • 後藤 安則
    トヨタ自動車 (株) パワーエレクトロニクス開発部
  • 斗内 政吉
    大阪大学レーザーエネルギー学研究センターレーザーテラヘルツ研究部門
  • 中前 幸治
    大阪大学大学院情報科学研究科情報システム工学専攻
  • 二川 清
    金沢工業大学大学院工学研究科高信頼ものづくり専攻

書誌事項

タイトル別名
  • LSI Failure Analysis Using Laser Terahertz Emission Microscope
  • レーザーレイキテラヘルツ ホウシャ イメージング オ リヨウ シタ LSI コショウ カイセキ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 82 (3), 225-229, 2016

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (2)*注記

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