特集　固体撮像とその関連技術　１／５インチ２７万画素ＦＴ‐ＣＣＤカラーイメージセンサ

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献7件
  • 岡田 吉弘
    三洋電機株式会社半導体事業本部LSI事業部
  • 渡辺 透
    三洋電機株式会社半導体事業本部LSI事業部
  • 石黒 達也
    三洋電機株式会社半導体事業本部LSI事業部
  • 竹田 和男
    三洋電機株式会社半導体事業本部LSI事業部

書誌事項

タイトル別名
  • Solid State Imaging Techniques. A 1/5-inch 270,000 pixels FT-CCD Color Image Sensor.
  • 1 5インチ 27マン ガソ FT-CCD カラー イメージ センサ

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説明

We developed a 1/5-inch frame transfer CCD color image sensor with 270, 000 pixels. The sensor is a key device of input systems for multimedia equipments such as personal computers, workstations, and write out PDAs. The total number of pixels is 532 (H) × 500 (V), and unit cell size is 5.8 (H) × 4.5 (V) μm2. A high sensitivity of 45 mV/1x was achieved in photo-electric conversion efficiency by optimizing the thickness of the membranes, and utilizing thinner polysilicon electrodes and multiple interference. A complementary stripe filter of Ye-G-Cy was used as a color filter. Manufacturing cost has been reduced by using a 20-pin transparent resin mold for packaging.

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