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- 依田 晴夫
- 株式会社日立製作所中央研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Image processing in industry. 3. Inspection techniques. 2. Automatic LSI wafer pattern inspection machine.
- LSI ウエハ パターン ガイカン ケンサ ソウチ
- 3-2 Automatic LSI Wafer Pattern Inspection Machine
- 3-2 LSIウエハパターン外観検査装置
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収録刊行物
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- テレビジョン学会誌
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テレビジョン学会誌 41 (10), 885-888, 1987
一般社団法人 映像情報メディア学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680075303680
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- NII論文ID
- 110003676200
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- NII書誌ID
- AN00151466
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- ISSN
- 18849652
- 03866831
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- NDL書誌ID
- 3149886
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles