酸化スズ薄膜ガスセンサーのガス感度の膜厚依存性

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  • Thickness Dependence of Sensitivity of SnO<sub>2</sub> Film Gas Sensors
  • サンカ スズ ハクマク ガス センサー ノ ガス カンド ノ マクアツ イゾン

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抄録

Sensitivity of SnO2 thin-film gas sensors which were fabricated by the dip-coating method was found to exponentially increase with the decrease in film thickness. This could be ascribed to the substantial increase in the resistivity of the films in air with the decrease in the film thickness, accompanied by the decrease in the size of SnO2 crystallites.

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