書誌事項
- タイトル別名
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- Process of Carbon Nanotube Probe by Pulling Method
- ヒキアゲ ホウ ニ ヨル カーボンナノチューブタンシン ノ カンイ サクセイ
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抄録
簡易かつ量産性のあるカーボンナノチューブ (CNT) 探針作製法を確立するため, 引き上げ法を考案した. 導電性平板上に滴下したCNT分散液から, 電圧を印加したW探針を引き上げるのみの作製法である. 作製時間1分, 作製率70%で, W探針先端から一本のCNTが突起した形態のSTM用CNT探針が作製可能であった. さらに本手法は, 同工程でAFM用CNT探針も作製可能であった.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 71 (2), 267-272, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680256786944
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- NII論文ID
- 110001824126
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7244001
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可