真空夏季大学応用技術講座「著者と学ぶ 薄膜の基本技術」の報告
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- 中野 武雄
- 成蹊大学理工学部
書誌事項
- タイトル別名
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- Report on Vacuum Summer School Advanced Lecture “Fundamentals of Thin Film Technology”
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収録刊行物
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- Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ
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Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ 51 (11), 758-759, 2008
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680270931840
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- NII論文ID
- 10024858249
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18824749
- 18822398
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles
