油拡散ポンプの到達真空度測定法について (I)

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• CRID

  1390282680300460288

• NII論文ID

  130003442620

• DOI

  10.3131/jvsj1950.2.2_16

• ISSN

  18837182

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles