ポリイミド薄膜への気体吸着挙動の反射率法による解析

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  • 宮崎 司
    日東電工株式会社基幹技術センター
  • 島津 彰
    日東電工株式会社基幹技術センター

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  • サンギョウ ・ イリョウカイ ノ チュウセイシ サイエンス ポリイミド ハクマク エ ノ キタイ キュウチャク キョドウ ノ ハンシャ リッポウ ニ ヨル カイセキ

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  • hamon

    hamon 11 (4), 16-23, 2001

    The Japanese Society for Neutron Science

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