Light Scattering Tomograph by Scanning Ultramicroscopy

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Other Title
  • 光散乱トモグラフィー
  • ヒカリ サンラン トモグラフィー

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Abstract

レーザー光源の出現により, 強度の強いコヒーレント光が容易に使えるようになった. ここでは, レーザー光線を細くしぼり(最良の状態で20μmφ), これを結晶内で走査して生ずる散乱光を結像し, 結晶内に存在する不純物の析出像, (不純物でデコレイトされていない)転位線像ならびに面状の欠陥を検出する方法について述べる. なお, トモグラフィー(tomography)は断層図形法(学)で, トポグラフィー(topography)は, 地形図法(学)のことで,中国語訳はそれぞれ「層析」と「形貌」である.

Journal

  • Butsuri

    Butsuri 35 (4), 306-314, 1980

    The Physical Society of Japan

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